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　　【學(xué)員問(wèn)題】真空泵的應用情況？
　　【解答】液環(huán)泵
　　雖然液環(huán)泵屬于粗真空泵，但在中國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫藥等領(lǐng)域仍然有著(zhù)很大的市場(chǎng)。
　　在國外，液環(huán)泵的銷(xiāo)售額占全部真空泵市場(chǎng)的14%，僅次于干泵，由于液環(huán)泵大部分是鑄件，加工要求也不高，屬勞動(dòng)密集型產(chǎn)品，所以國產(chǎn)液環(huán)泵在價(jià)格上有競爭優(yōu)勢，關(guān)鍵是要改進(jìn)設計，縮小體積，減輕重量，提高效率，降低能耗。
　　滑閥泵
　　由于滑閥泵比較耐用、可靠，國內外各種真空爐、鍍膜機以及干燥、浸漬等設備都是用滑閥泵作為前級泵，但是滑閥泵鑄件重，加工工作量較大，所以國外各真空廠(chǎng)都在中國尋找合作伙伴。為了使國產(chǎn)滑閥泵能夠進(jìn)入國際市場(chǎng)，必須進(jìn)一步降低泵的振動(dòng)噪聲，杜絕噴油和漏油，提高滑閥泵長(cháng)期運行的可靠性。
　　直聯(lián)旋片泵
　　隨著(zhù)真空技術(shù)在各個(gè)應用領(lǐng)域的不斷擴大，直聯(lián)旋片泵的需求量越來(lái)越大。由于這種泵數量很多，加工裝配工作量很大，價(jià)格又很低，所以有的國外真空廠(chǎng)商在中國建立專(zhuān)業(yè)廠(chǎng)。國產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過(guò)關(guān)，價(jià)格又遠比國外的泵便宜，所以國產(chǎn)泵仍然有競爭優(yōu)勢，關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質(zhì)量問(wèn)題，確保直聯(lián)泵在高速、高溫下性能穩定和運行可靠，同時(shí)還要進(jìn)一步提高國產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力。
　　羅茨泵
　　從國外羅茨泵生產(chǎn)情況來(lái)看，國外幾家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他們各家羅茨泵的銷(xiāo)售額占全球羅茨泵銷(xiāo)售額的比例都沒(méi)超過(guò)5%，這5家總計才20%，羅茨泵產(chǎn)量不大，但國外羅茨泵的價(jià)格遠比國產(chǎn)泵要高得多。國內外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統，為了縮短抽氣時(shí)間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵，所以國產(chǎn)羅茨泵一定要在占領(lǐng)國內市場(chǎng)基礎上設法進(jìn)入國際市場(chǎng)，這樣就必須進(jìn)一步降低國產(chǎn)羅茨泵的振動(dòng)噪聲，徹底解決軸封漏油問(wèn)題，改進(jìn)泵的外觀(guān)質(zhì)量，提高泵內的光潔度和清潔度。另外，還要考慮到有些國家和地區的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在提高轉速的情況下長(cháng)期運行的可靠性。
　　國內氣冷式直排大氣羅茨泵進(jìn)展很快，技術(shù)上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過(guò)管道返回泵腔以冷卻轉子，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直排大氣。為了滿(mǎn)足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯(lián)使用，一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵，所達到的極限真空要比前級泵高一個(gè)數量級。這種泵由于在泵腔內沒(méi)有工作介質(zhì)，實(shí)際上也是屬于干泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農藥、汽輪機轉子動(dòng)平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長(cháng)期運行的考驗，所以應該在國內大力推廣和應用。
　　分子泵
　　分子泵在國外半導體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。
　　由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(cháng)。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱(chēng)之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著(zhù)中國半導體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿(mǎn)足不同場(chǎng)合的需要。
　　干泵
　　國外干泵市場(chǎng)的不斷增長(cháng)，其主要驅動(dòng)來(lái)自于半導體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿(mǎn)足不同應用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無(wú)油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h.
　　水環(huán)泵
　　水環(huán)真空泵（簡(jiǎn)稱(chēng)水環(huán)泵）是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa，串聯(lián)大氣噴射器可達270~670Pa.水環(huán)泵也可用作壓縮機，稱(chēng)為水環(huán)式壓縮機，是屬于低壓的壓縮機，其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。
　　水環(huán)泵最初用作自吸水泵，而后逐漸用于石油、化工、機械、礦山、輕工、醫藥及食品等許多工業(yè)部門(mén)。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過(guò)程中，如真空過(guò)濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等，水環(huán)泵得到廣泛的應用。由于真空應用技術(shù)的飛躍發(fā)展，水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可抽除易燃、易爆的氣體，此外還可抽除含塵、含水的氣體，因此，水環(huán)泵應用日益增多。
　　在泵體中裝有適量的水作為工作液。當葉輪按圖中順時(shí)針?lè )较蛐�轉時(shí)，水環(huán)的上部?jì)缺砻鎰偤门c葉片頂端接觸（實(shí)際上葉片在水環(huán)內有一定的插入深度）。此時(shí)葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個(gè)月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數目相等的若干個(gè)小腔。如果以葉輪的下部0°為起點(diǎn)，那么葉輪在旋轉前180°時(shí)小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時(shí)氣體被吸入，當吸氣終了時(shí)小腔則與吸氣口隔絕；當葉輪繼續旋轉時(shí)，小腔由大變小，使氣體被壓縮；當小腔與排氣口相通時(shí)，氣體便被排出泵外。
　　綜上所述，水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來(lái)實(shí)現吸氣、壓縮和排氣的，因此它屬于變容式真空泵。